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半导体含硅废水的产生与解决方案

时间: 2026-05-22 | 点击: 10 次

半导体含硅废水处理痛点:

1.悬浮硅、溶解性硅、有机硅3种完全不同形态的硅需要完全不同的处理逻辑,常规药剂难去除。

2.半导体厂对废水回用的需求极高,通常会采用反渗透(RO)膜、蒸发等工艺进行废水回用,但含硅废水的硅垢问题是回用的最大阻碍。这类硅垢质地致密,常规的化学清洗很难将其清除,会直接降低设备使用寿命,影响设备工作效率。

3.通常需要投加大量的钙盐、镁盐或者混凝剂,这会产生大量的化学污泥,这类污泥的含水率高,脱水难度大,后续的危废处置成本很高。

4.含硅废水中通常还共存氟离子、重金属、有机物等其他污染物,这些污染物会严重干扰硅的去除。


那么半导体废水是怎么产生的呢?

半导体废水中的硅一般有悬浮硅(SiO₂颗粒)、溶解态硅酸盐等型态,主要来自晶圆前道、后道、封装三大板块。例如晶圆切割、研磨、划片,化学机械抛光(CMP)、刻蚀、清洗工序,清洗剂、封装等工艺都会产生含硅的废水。


除硅解决方案:
最新研发的污水处理剂NH-505是特效复配除硅药剂,可通过化学沉淀、吸附絮凝等方式实现硅(溶解硅、悬浮硅和部分有机硅)的固定与分离。出水硅可降至 2mg/L 以下。具有除硅高效、彻底、无残留的特点。


药剂通用性强,除硅效果稳定,可广泛应用于矿井水、尾矿水、电厂循环水、煤化工循环水、化工污水、硅材料切割废水等领域


测试实例:西北某半导体生产厂含硅废水,客户之前用镁盐无法将此废水硅处理达标;通过使用我司的NH-505除硅剂,只需添加少许,出水硅浓度即可达标(从50PPM左右下降到2PPM以下),且出水清澈,沉降快速,污泥量少。



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